Технические характеристики

  • Мощность СВЧ источника

    до 6 кВт, частота 2.45 ГГц

  • Количество независимых газовых каналов

    до 5

  • Рабочие газы:

    H2 — 1000 sccm
    O2 — 50 sccm
    CH4 — 200 sccm
    N2 — 1000 sccm
    Ar — 1000 sccm

  • Рабочее давление в камере

    20-500 торр

  • Диаметр алмазных пластин

    до 100  (4″) мм

  • Температура подложки

    до 1200 °С

  • Скорость осаждения алмаза

    до 100 мкм/ч (для монокристаллических алмазов)
    до 6 мкм/ч (для поликристаллических алмазов)

  • Визуальный контроль

    5 кварцевых 70 мм CF окон

  • Камера и подложкодержатель

    водоохлаждаемая вакуумная камера из нержавеющей стали,
    подложкодержатель из молибдена

  • Дополнительные опции

    Z-подвижка, двулучевой пирометр, DC Bias

  • Программное обеспечение

    Windows, процесс синтеза управляется программой Ardis Control

  • Габариты

    Длина — 1660мм
    Ширина — 880мм
    Высота — 1840мм